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加工优势：
可用于正面打标/背面打标，标记速度快，效率高，聚焦光斑小，能实现超精细标记，粉尘少，不用清洗，机器可适应6英寸，8英寸及12英寸晶圆标刻。
| 技术参数 | |
| 激光器波长 | 532nm 355nm |
| 功率 | 5W 10W |
| 光束质量 | ＜1.3 |
| 激光安全等级 | Class IV |
| 扫描范围 | 290*290mm |
| 标刻速度 | 500字符/s |
| 加工精度 | ±0.05mm |
| 平台重复定位精度 | ±0.0025mm |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 环境温度/湿度 | 20±2℃ / 30%-60% 无结露 |
| 整机耗电 | ＜4.5~6.0kw |
| 单机尺寸 | 1.8m*1.7m*1.9m |
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